技术编号：12208710
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及喷涂设备领域，特别涉及一种石英坩埚喷涂箱。背景技术石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器，其具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，在现代工业中应用越来越广泛。石英坩埚最高可以在1450°的环境下使用，而高温状态下生产单晶硅的过程中，液态硅会与石英坩埚反应，容易导致坩埚破裂、损坏，为了隔离液态硅和石英坩埚，一般是在石英坩埚表面喷涂隔离层。通常的做法是将石英坩埚壁涂上一层含有结晶水的氢氧化钡，这层氢...
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