技术编号:12217531
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,属于蓝宝石衬底研磨后的清洗加工技术领域。背景技术蓝宝石(Sapphire)晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料。蓝宝石衬底片为了获得优良的平坦度,需要以碳化硼为主要研磨材料对蓝宝石衬底片进行双面研磨加工,研磨后的蓝宝石衬底片表面残留有碳化硼微粉,在高温退火前需要进行清洗。由于碳化硼稳定的化学性能,研磨后的清洗非常困难,碳化硼微粉残留在蓝宝石衬底片表面,高温退火后在蓝宝石衬底片表面形成油亮斑,导致蓝宝石衬底片需...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。