技术编号：12220489
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于特种复合加工领域，尤其是电化学放电与激光辐照同轴复合加工绝缘、高硬度、脆性材料的方法和装置，具体是一种管电极放电与激光辐照的同轴复合加工方法和装置。背景技术绝缘高硬脆材料相较于金属材料具有很多特点，包括高硬度、耐腐蚀、耐高温、耐磨损等材料性能。以氧化铝陶瓷为代表的绝缘高硬脆材料，在微电子、微反应器、光电子信息自动化技术、能源和环保、生物医学等高技术领域中有着十分广泛的应用前景。特别是在电子工业中已广泛应用的氧化铝陶瓷基片，因其化学稳定性高、导热率好、电绝缘性能高、高频特性优异、强度硬度...
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