技术编号:12222169
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种纳米加工装置,尤其涉及一种电化学加工装置。背景技术随着科学技术的飞速发展,微型化是军事及民用研究领域总的发展趋势。如大规模集成电路(ULSI)、微纳机电系统(MEMS&NEMS)、微全分析系统(μ-TAS)以及精密光学器件的发展,要求每个功能器件的尺寸达到微纳米量级。现代化的高技术战争要求武器小型化,如微型潜艇、微型飞机、微型导弹等,这些新型武器的组成零件要求其结构尺寸达到微米乃至纳米量级,加工精度达到纳米量级。在民用领域,以计算机CPU芯片为例,商业化的超大集成电路的...
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