技术编号:12231585
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种取片装置,尤其涉及一种光刻机的取片装置。背景技术在集成电路芯片的生产过程中,芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一,该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中,需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出,而然后在传递给其他的送片机构,最后将硅片送光刻工位光刻,光刻完成后,又需要通过取片装置将硅片回送至片盒中。然片盒的插槽的间距比较窄,硅片在初始状态时都插入到对应的插槽中且每一个插槽内均只插装一...
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