技术编号:12232673
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种薄膜在线监测装置。背景技术目前,大面积玻璃镀膜膜层质量的监测方式,都是采用离线监测的方法,即玻璃完成镀膜后,再通过专门的测试仪器对膜层质量进行监测;此类方法虽然能测试大面积玻璃镀膜的膜层厚度,但是由于是离线测量,会造成反馈延时,工程人员不能及时得到相关镀膜数据进行相关的分析,镀膜过程中无法掌控镀膜的质量,不能在镀膜过程中及时的进行工艺质量调整,往往致使产品不良、材料浪费,增加企业的运营成本。实用新型内容为解决上述技术问题,本实用新型目的是提供一种薄膜在线...
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