技术编号:12234595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空蒸镀设备技术领域,尤其是一种可旋转电子束加热样品台。背景技术电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式,它是在钨丝蒸发的基础上发展起来的,电子束是一种高速的电子流,电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法,它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。现有用于电子束蒸发加热的样品台结构功能单一,样品在弧形加热台中不能旋转加热,受热不均匀,一定程度上影响加热效率。实用新型内容为了克服现有的上述的不足,本实用新型提供了一种可旋转电子束加热样品台。本实用新型解决其技...
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