技术编号：12234610
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能热利用技术领域，涉及太阳光谱选择性吸收涂层生产设备，具体地说，涉及一种太阳光谱选择性吸收涂层向上溅射卷对卷镀膜生产线，也可以用于太阳能电池等需要柔性带材卷对卷镀膜生产的磁控溅射镀膜领域。背景技术现有用于制造太阳能集热板芯镀制选择性吸收涂层的真空镀膜机分为单真空室镀膜机和步进式镀膜生产线。其中，单真空室镀膜机具有结构简单、价格低廉优势，但由于这种镀膜机采用单次循环镀膜生产方式，每完成一个镀膜生产过程就需要对真空室进行放气及抽真空的循环操作，溅射环境气氛难以重复和稳定，镀膜质量难...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。