技术编号：12234767

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本公开内容涉及一种电镀处理器，并且更具体地，涉及一种具有电流取样电极的电镀处理器。背景技术微电子器件(诸如半导体器件)通常制造在晶片或工件之上和/或之中。典型晶片涂镀工艺涉及将晶种层经由气相沉积沉积到晶片表面上。接着，晶片移入电镀处理器，在所述电镀处理器中，电流传导通过电解液到达晶片，以将金属或其它导电材料的覆盖层或图案化层涂覆到晶种层上。导电材料的实例包括坡莫合金(permalloy)、金、银、铜和锡。后续处理步骤在晶片上形成部件、触点和/或导线。在电镀处理器中，电流取样电极(currentt...
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• 余老师：设计和制备新能源电极材料研究材料在氢气、氧气、二氧化碳等能源小分子电催化转化中的应用，通过先进表征手段和理论模拟计算理解催化位点和反应机理，力图发展几种具有应用前景的电催化剂材料。
• 匙老师：多酸团簇、金属有机框架材料的合成性能研究与计算模拟，主要包括： 1.多酸团簇-无机晶核共组装进行光催化分解水制氢与二氧化碳还原； 2.低维多孔材料的结构与催化性能的研究。
• 罗老师：低维纳米材料（纳米颗粒、纳米线/管/框/片、二维材料）的电子显微分析以及基于电子显微分析结果的先进能源材料设计、制备和器件应用。
• 焦老师：新能源材料设计、合成及应用研究。主要包括：1二氧化碳电催化还原、电催化分解水制氢等；2原子界面电极材料的制备及能量转换技术研究。
• 蒋老师：以储能和能量转化为导向的功能材料及器件研究，包括：锂离子电池、锂硫电池、钠离子电池、固态电池及其它新型化学电源
• 丁老师：1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
• 孙老师：1. 仿生分离技术的开发 2. 光化学 3. 仿生催化体系的设计及作用机理研究 4. 仿生材料的设计、合成及应用研究