技术编号:12234803
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于拉制单晶硅锭的单晶炉。背景技术晶体生长是把半导体级硅的多晶硅块转换成一块大的单晶硅,生长后的单晶硅被称为硅锭。现在生产用于硅片制备的单晶硅棒最普遍的技术是Czochralski(CZ)法,这是按20世纪初它的实用新型者的名字来命名的。Czochralski(CZ)法生长单晶硅把熔化了的半导体级硅液体变成有正确晶向并且被掺杂成N型或P型的固体硅锭。85%以上的单晶硅是采用CZ法生长出来的。一块具有所需晶向的单晶硅作为籽晶来生长硅锭,生长的单晶硅棒就像籽晶的复制品。熔化的硅和单...
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