技术编号：12235679
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体结构以及半导体结构的形成方法。背景技术MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)是微机电系统的缩写。一般的，MEMS系统主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是融合多种微细加工技术，并结合现代信息技术的基础上发展起来的高科技产品。MEMS系统的目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。MEMS技...
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