技术编号:12238221
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英玻璃制造技术领域,特别是涉及一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃。背景技术石英玻璃是以二氧化硅作为主要成分的非晶态材料,其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络,由于Si-O化学键能很大,结构很紧密,所以石英玻璃具有独特的性能,如耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性高和电绝缘性能好等优点。由于石英玻璃的独特性能,它是半导体集成电路制造过程不可替代的理想配套辅材,包括在石英玻璃管、石英玻璃片、石英玻璃环、石英玻璃板、石英玻璃法兰、石英玻璃刻槽舟、石英玻璃清洗槽等器件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。