技术编号：12252890
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压电驱动大行程无耦合的二维精密微定位平台，属于微机电控制系统领域。背景技术近年来，随着科学技术的迅猛发展和进步，人类的研究从宏观领域扩展到微观领域，尤其是在微机电系统、生物工程、微电子技术、光学等众多学科中，被操作对象正不断朝着小型化、微型化的方向发展，目前己经进入了亚微米—纳米时代，因而对精密机械和仪器的各方面性能要求越来越高，对高精度微位移操作系统的研制提出了迫切的要求。微位移系统作为精密机械和精密仪器的典型代表和关键技术之一，是实现精密制造、精密测量和精密驱动的不可或缺的...
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