技术编号:12258712
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)邻域,更具体地,涉及一种MEMS组件。背景技术MEMS麦克风具有体积小、耐热性好、易于集成等优点,现已被广泛应用。一个MEMS麦克风的封装结构通常包括外壳、电路板以及MEMS芯片,MEMS芯片设置在由电路板和外壳共同形成的腔体内。腔体与MEMS组件的外部通过设置开孔连通。根据MEMS组件中开孔设置的位置,行业内将MEMS组件大致分为前进音和后进音两种方式,其中前进音的方式中开孔设置在外壳上,后进音的...
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