技术编号：12259587
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种真空泵的解决方案，属于变容真空泵的技术领域。背景技术真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。一个大气压约为1*105帕斯卡。真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度。在实用上便利起见，人们常把真空度粗划为几个区域：从1*105帕斯卡到1*103帕斯卡的区域为低真空度；从1*103帕斯卡到1*10-1帕斯卡的区域为中真空度；从1*10-1帕斯卡到1*10-5帕斯卡的区域为高真空度；小于1*10-5帕斯卡的区域为超高真空度。真空泵是指利用机械、物理、化学或...
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