技术编号：12265059
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密测量传感器技术领域，具体涉及一种单列式二维时栅直线位移传感器。背景技术直线位移测量是最基本的几何量测量，大量存在于以制造业为代表的工业实践和科学实践中，其中直线平面位移测量是其中的典型应用，常用于需要同时测量X坐标与Y坐标的机床设备以及平面工作台。目前，平面二维位移测量主要分为两种形式，一种是在X方向与Y方向分别安装直线位移传感器，实现平面二维位移的测量，另一种采用一体化的二维直线位移传感器，如二维光栅传感器、二维磁栅传感器等。第一种方式简单，但是同时安装两个传感器，安装精度的一致...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。