技术编号:12265107
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及光学探测技术,尤其涉及一种相位恢复方法及装置。背景技术相移干涉术(PSI)是一种高精度的相位测量技术,广泛应用于光学元件表面检测,形变检测,数字全息等领域。一般而言,至少需要三幅相移干涉图才能由相移算法恢复出相位。目前,对于相移干涉图的相位恢复问题,一方面围绕着从多幅相移干涉图恢复相位做深入研究,其中,极端条件下的相位恢复问题是难点,例如,对于一组相移干涉图,极端条件主要包括干涉图之间的相移量很小,干涉图数量少,以及干涉图本身的噪声大等。但相移干涉术要求在不同时刻采集引入不同相移...
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