技术编号：12265114
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于数字全息检测领域，具体涉及一种双载频共路数字全息显微装置及显微方法。背景技术数字全息检测技术基于干涉原理，利用数字相机记录全息(干涉)图，并利用计算机数字再现物体表面形貌等，由于具有非接触、全场定量、三维成像等独特优点，已作为极其重要的测试分析手段被广泛应用于生物医学、微纳器件、光学微加工等测量领域。目前数字全息常采用分离光路和共光路两种结构。相对于分离光路结构，共光路结构因为参考光束和测量光束经过相同路径，具有非常好的抗干扰能力，因而近十年受到国内外学者广泛关注。美国麻省理工学院的G...
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