基于CMOS的高精度激光位移传感器系统的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12265166

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本发明属于精密自动测量技术领域,特别是涉及一种位移传感器系统,可用于非接触式测量。背景技术激光位移传感器以其卓越的测量性能,实现非接触在线测量位移,动态监测重要构件在承载时发生微量变形。近几年,特别是随着现代光电技术的不断发展,激光位移传感器逐渐成为非接触检测产品的主流,在国外已较为普遍使用非接触式的测量方法进行高精度的检测。目前激光位移传感器使用的光电器件主要有位置敏感探测器PSD、电荷耦合元件CCD。采用满足Scheimpflug条件的直射式或斜射式三角测量法为测量依据,通过FPGA实现对光...
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