技术编号:12265439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及惯性测量技术领域,特别涉及一种基于热膨胀气流的MEMS三轴惯性传感器及其加工方法。背景技术微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是采用硅基半导体工艺来制作微型机械的一项前沿技术。MEMS技术与陀螺技术结合,产生了许多新原理的微陀螺。其中MEMS流体陀螺越来越受到MEMS陀螺研究者的关注。MEMS流体陀螺采用流体(多为气体)作为工作介质,无需振动质量块或者其他运动部件,因而克服了MEMS振动式陀螺抗冲击差、结构易疲劳及存在滑/压膜阻尼等问题。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。