技术编号:12265656
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械陀螺,尤其涉及一种高精度的微机械陀螺现场模态匹配方法。背景技术微机械陀螺具有体积小、功耗低、可批量生产等特点,在工业和民用领域有着广泛的应用前景。近几年来,微机械陀螺的性能指标不断提高,显示出了高精度应用的潜力,如惯性导航单元。微机械陀螺又叫科氏振动陀螺,是基于两个振动模态的能量交换机制,即驱动模态和振动模态。通常的,两个模态的谐振频率设计为相等。这样,模态匹配陀螺利用品质因数放大效应能大大抑制系统检测噪声。为了实现高检测分辨率,两个模态的谐振频率通常设计为相等。然而,工艺偏差和...
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