技术编号:12265741
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域,更具体的是一种桥式传感器初始零位电压调零方法。背景技术随着微电子技术和计算机的进一步发展,微悬臂梁桥式传感器的应用越来越普遍,被广泛应用于航天、航空、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。此时,要实现压阻桥式传感器的精确测量与实时监测显得尤为重要。桥式传感器是传感器家族中重要一族,很多物理量如压力、载荷、应变、加速度、位移等的测量,常采用桥式原理的传感器。由于多种原因(如MEMS技术制作桥臂电阻时离子分布不均导致阻值大小不一样),当输入的被测量为...
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