技术编号:12266053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学领域,特别是涉及一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪。背景技术物质的光谱含有物质的大量化学信息,每一种物质均有对应的特征光谱,因此探测物质的光谱可以分析物质的化学组分,在地理遥感、污染遥感监测、无创医疗诊断以及军事目标的识别等领域具有广泛的应用前景。然而,目前的光谱分析技术主要依赖光栅分光或者多个分立带通滤波片进行分光,前者体积庞大,速度慢,不能满足小型化、快速化的应用要求;而后者只能探测少数几个波长上的信息。本发明提出通过制备垂直纳米或微米柱体并进一步形成垂直的金属孔,研...
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