技术编号：12269693
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微加工工艺中的微对准操作技术领域，特指一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具及应用。背景技术随着微细加工技术的发展，可以利用微机电系统MEMS相关的工艺流程和手段设计并加工出尺寸极小、多功能集成的微纳器件和系统。但是，利用MEMS技术以高效、快捷、高可靠性的制作高集成密度和大面积的三维结构仍存在诸多困难。上下结构的精确对准是实现三维结构微组装的最有效途径之一，因此在这一组装工艺过程中的实用工具及使用对于实现三维结构器件及系统非常重要。由于MEMS器件微细结构日益复杂，并且和超精密机...
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