一种PERC电池正面减反膜的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:12275259

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本发明属于光伏设备制造技术领域,特别是涉及一种PERC电池正面减反膜的制备方法。背景技术局部接触背钝化(PERC)太阳能电池是新开发的一种高效太阳能电池,其转化效率伴随着技术的不断进步已经超过目前21%的稳定效率,得到了业界的广泛关注,该技术的核心是在硅片的背面用氧化铝或者氧化硅薄膜覆盖,以起到钝化背表面、提高长波响应的作用,从而提升电池的转换效率。传统的PERC太阳能电池的制备方法主要包括如下步骤:制绒、扩散、背面抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、背面沉积氮化硅薄膜、正面沉积...
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