一种垂直结构蓝光LED芯片的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:12275263

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一种垂直结构蓝光LED芯片的制备方法【技术领域】本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种垂直结构蓝光LED芯片的制备方法。【背景技术】半导体照明的应用近年来已明显加速,其效果已得到市场认可,但其在整个照明市场的渗透率仍然较低。国内LED照明应用市场尚未成为产业发展的主导力量。半导体照明应用市场,特别是功能性照明市场正处于发展的初期阶段,未来空间巨大。传统的正装结构LED芯片,P型GaN掺杂困难导致空穴载流子浓度低下和不易长厚而导致电流不易扩散,当前普遍采用在P型GaN表面制备超薄金属薄膜或ITO薄...
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