一种发光二极管芯片及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:12275297

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本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种发光二极管芯片及其制备方法。背景技术近年来,具备高亮度特性的倒装AlGaInP发光二极管(英文:LightEmitingDiode,简称LED)的应用领域日趋广泛,市场需求不断扩大。倒装AlGaInPLED芯片自下而上包括基板、反射层、P型欧姆接触层、P型电流扩展层、P型限制层、有源层、N型限制层、N型电流扩展层、N型欧姆接触层。在实现本发明的过程中,发明人发现现有技术至少存在以下问题:反射层一般为由高折射率的金属反射层(如Au、Ag)和低折射率的氧化物反射...
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