技术编号:12277526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器,属于精密微操作领域,主要应用于超精密加工、精密工程、微机电系统(MEMS)、微电子工程、生物工程、半导体制造等高尖端科学技术领域。背景技术随着微机械加工、超精密加工与测量、精密光学工程、生物工程、现代医学、半导体制造、航空航天等领域的迅速发展,传统的直线驱动器受其工作原理和机械结构限制,已无法满足超精密和高精度定位的要求,迫切需要纳米级、亚纳米级精度的超精密直线微驱动器实现其功能。尺蠖式直线驱动器是模仿自然界生物尺蠖的运动规律能实现微位移累加以...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。