技术编号：12283918
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微镜组件和一种制造按照本发明的微镜组件的方法。背景技术现今，微镜被越来越多地应用。属于这些应用的例如有投影仪、扫描仪或者类似物。微镜的优点在于，它们具有小的位置需求并且因此可以很灵活使用。微镜通常涉及到微机电元件，这些元件例如借助于从半导体加工方式已知的方法来结构化和制造。为了实现在一个这样的微镜中的镜子偏转可以使用不同的方法。比如说可以使用静电驱动方法、磁驱动方法、压电方法或者类似方法。在此，一些驱动方法仅仅能实现微镜在一个方向倾斜。另外一些驱动方法也能实现微镜在两个方向倾斜。问...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。