技术编号:12284447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。合成二异丙基氨基-二硅烷的方法本发明的领域整体涉及化学方法和由此制备的组合物。化学方法包括选择性地合成二异丙基氨基-二硅烷,并且组合物包含二异丙基氨基-二硅烷和由此制备的至少一种反应副产物。方法还包括减少氨基硅烷(包括氨基二硅烷)中的氯化物杂质。氨基硅烷、氯硅烷和氨基氯硅烷可用于制备硅基材料,诸如硅基润滑剂、弹性体和树脂。在US8,043,907B2中,Y.Ma等人报道了在基底上制造非易失性存储器装置的方法。硅前体可用于形成多晶硅、氧化硅、氧氮化硅、氮化硅的材料,以及含铪材料。硅前体可为硅烷、烷...
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