技术编号：12285487
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基材上层叠热喷涂膜而成的层叠体的制造方法以及层叠体。背景技术在基材上层叠与该基材不同的材料而成的层叠体，根据其材料组合而用于各种用途。例如，通过热喷涂将陶瓷或者金属陶瓷层叠在铝基材上而成的层叠体利用于在半导体制造过程中对半导体基板进行温度调节的基板支承装置或者工作台加热器。然而，在基材的热膨胀系数与在该基材上形成的热喷涂膜的热膨胀系数不同的情况下，若在使用层叠体时对基材进行加热，则有可能由于应力而导致热喷涂膜产生裂纹。为了抑制这种裂纹的产生，或者提高开始产生裂纹的温度，已知一种如下的...
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