技术编号:12285518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。生产有机-无机层合物的方法本发明涉及通过原子层沉积生产有机-无机层合物的方法的领域。层合物结构是有吸引力的材料,因为它们结合了对抗性能,例如聚合物膜的挠性与陶瓷的屏障特性。对于包装、包封或钝化,有利的是提供大面积挠性层合物。这些层合物需要具有对小分子如水而言的高扩散屏障与在整个面积上的高均匀性。WO2011/099858A1公开了通过使前体气体来源沿着基底移动而在基底上沉积无机层的方法。WO2012/050442A1公开了通过使基底在前体气体来源下旋转而在基底上沉积无机层的方法。US2009/0...
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