有序化嵌段共聚物的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12287402

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有序化嵌段共聚物本发明一般地涉及将嵌段共聚物校准并定向,和特别地涉及将嵌段共聚物在制造工艺中校准的方法。特别地,校准方法利用入射照射,在嵌段共聚物顶涂层上产生光图案。背景技术嵌段共聚物是包括至少两个化学上不同的重复单元的链区的大分子。这些材料是材料科学中公知的。在非限制性实例中,分别由重复单元A和B组成的两种均聚物以共价键连接成二嵌段共聚物,常常被称为AB二嵌段共聚物。在给定嵌段共聚物链内的重复单元A和B的平均数目可以变化,且A和B重复单元的平均数目相对于彼此也可以变化。在一些情况下,嵌段共聚物...
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