技术编号：12287404
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及树脂组合物、使用其的固化膜和图案固化膜的制造方法、由其制法得到的固化膜和图案固化膜以及包含它们的电子设备。背景技术以前，作为半导体集成电路(LSI)的保护膜材料，广泛应用聚酰亚胺树脂等具有高耐热性的有机材料。使用这样的聚酰亚胺树脂的保护膜(固化膜)如下获得：将聚酰亚胺前体或含有聚酰亚胺前体的树脂组合物涂布在基板上并干燥，对所形成的树脂膜进行加热而固化。伴随着电子设备的小型化和高功能化，对将树脂膜图案化并加热固化而形成的图案固化膜有高分辨率化的要求。对于该要求，由使用光自由基聚合的溶剂显...
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