感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12287408

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本发明涉及一种感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置。背景技术在现有技术中,半导体元件中的保护膜、绝缘膜使用着感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物包含耐热性优异且具有卓越的电特性、机械特性等并且能够进行图案化的碱溶性树脂。在此,在使用包含碱溶性树脂的感光性树脂组合物的情况下,为了简化工序,通用的是将光酸产生剂的重氮醌化合物与这些树脂组合而制作感光性树脂组合物。例如专利文献1中记载有含有碱可溶性酚醛树脂、感光性树脂组合物、有机溶剂和含烷氧基甲硅烷基的粘结助剂的感光性树脂组合物。以往技...
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