永久膜用感光性组合物、抗蚀材料及涂膜的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12287410

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本发明涉及感光灵敏度及分辨率高、耐热性及耐吸湿性也优异、高温环境下也不易发生污染、可用作永久膜的形成材料的感光性组合物、抗蚀(resist)材料、其涂膜。背景技术含酚羟基化合物被用于粘接剂、成形材料、涂料、光致抗蚀材料、环氧树脂原料、环氧树脂用固化剂等,除此之外,由于固化物的耐热性、耐湿性等优异,因此作为以含酚羟基化合物自身作为主剂的固化性树脂组合物、或者作为环氧树脂等的固化剂,在半导体密封材料、印刷电路板用绝缘材料等电气/电子领域中广泛使用。另外,由光致抗蚀(photoresist)材料等感光...
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