技术编号：12287426
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。对象定位系统、控制系统、光刻设备、对象定位方法和器件制造方法相关申请的交叉引用本申请要求2014年6月3日提交的欧洲申请14171005.3的权益，其全部内容通过引用合并于此。技术领域本发明涉及对象定位系统、控制系统、光刻设备、用于定位对象的方法以及用于制造器件的方法。背景技术光刻设备是一种向衬底上(通常向衬底的目标部分上)施加期望图案的机器。光刻设备可以用在例如集成电路(IC)的制造中。在这样的情况下，也可以使用被替选地称为掩模或掩模版的图案形成装置来生成要形成在IC的单个层上的电路图案。可以...
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