高频电压发生装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12288680

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本发明涉及从直流电压生成高频电压并施加到负载的高频电压发生装置。该高频电压发生装置能够适当地用于在质谱分析装置中对离子进行聚焦、传输、过滤等控制的离子导向器、离子阱等带电粒子控制装置。背景技术在质谱分析装置中使用的带电粒子控制装置中,为了控制离子的运动,使用在空间上、时间上进行了调制的高频电场(参照专利文献1)。例如,在以环绕离子光轴的方式配置有n根(n为偶数)杆电极的离子导向器中,以在相邻的杆电极彼此之间极性相反的方式施加振幅为V、频率为Ω的高频电压VRF,从而在离子导向器内形成由高频电场产生...
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