技术编号：12288745
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电加热器型预处理装置及用于其的电加热器结构体，更详细地，使电加热器结构体与废气的接触面积最大化，使得电加热器结构体要热分解的热量既快速又均匀地传递至废气，以便更加激活热分解。背景技术现有技术的电加热器型预处理装置中，反应腔室的内部包括杆形或线(wire)形的电加热器，从反应腔室的外部供给的在半导体工艺过程产生的全氟碳化物复合物(PFC，Per-fluorocarbonCompound)包括在内的废气与电加热器进行接触反应或热传递，以热分解废气的方式进行工作。另一方面，设置于现有技术的电...
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