具有堆叠式支撑环的晶片运送装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12288784

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具有堆叠式支撑环的晶片运送装置相关申请案此专利申请案主张2014年2月25日提出申请的美国临时专利申请案第61/944,455号、2014年12月8日提出申请的美国临时专利申请案第62/089,087号及2014年12月8日提出申请的美国临时专利申请案第62/089,103号的权益,所述美国临时专利申请案的揭示内容据此以其全文引用的方式且出于所有目的而并入本文中。技术领域本发明一般来说涉及晶片运送装置,且更具体来说涉及利用晶片支撑环的晶片运送装置。背景技术晶片运送装置已经开发以用于运输及存储各自...
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