技术编号:12299352
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于有机高分子化合物-有机硅树脂及其制备,涉及一种聚硅杂环丁烷型硅氧烷光敏树脂及其制备方法。本发明聚硅杂环丁烷型硅氧烷光敏树脂性能优良,适用于微电子工业、航空航天和国防军工等领域中,例如:应用于新一代电子技术领域的苯并环丁烯(简称BCB)波导器件封装、发光二极管表面纹理处理以及制备倒装芯片内部连接的介电隔层等。背景技术有机硅聚合物由于高的Si-C、Si-O键键能以及低的化学键偶极距,使其具有优异的电学、热学等性能,并在国防军工、电子等领域有着广泛应用,也是高性能树脂基体新材料开发的热点领域...
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