技术编号：12300819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种提拉称重单元与炉腔分离的晶体提拉炉，属于晶体生长设备技术领域。背景技术提拉法是一种从熔体中生长高质量单晶体的方法，其基本原理是原料在坩埚中加热溶化，缓慢将籽晶与熔体接触，通过精确控制温度和晶体拉速和转速，使得固液界面处熔体不断凝固而生长出晶体。该晶体生长方法下籽晶过程和晶体生长过程能够实时观察与控制，可以通过使用优质定向籽晶和缩颈技术，减少晶体缺陷，因而该方法控制方便，能获得较快的生长速率和很高的产品性能均匀性获得高质量晶体，因此提拉法是一种能够应用于产业化的晶体生长方法，可用于生...
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