硅基APD/PIN低串扰自校正复合光电探测器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12317303

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本实用新型属于光电探测器设计领域,涉及硅基APD/PIN低串扰自校正复合光电探测器。背景技术目前,光学跟踪中普遍采用位置传感器多采用象限探测器(Quadrantdetector,QD)、横向探测器(LateralEffectDetectors)和多元探测器(如CCD),而四象限探测器作为一种常见的光电传感器,在光电信号检测、光电定向、光电准直、光电跟踪定位、激光制导、激光对准等方面得到广泛应用。其中激光制导主要部件为导引头和激光照射器,而导引头中的核心部件是四象限探测器。而在通用的光电探测器和普...
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