技术编号：12319282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及离子泵，具体涉及离子泵电源。背景技术溅射离子泵广泛用于细长型的密闭真空系统，如粒子加速器、同步辐射光源、材料表面分析设备、光阴极电子枪等。离子泵电源是溅射离子泵关键部件，真空系统主抽溅射离子泵，其自身的极限真空度通常要求比装置设计真空度高半个数量级到一个数量级，因此，要研发10-10Pa的溅射离子泵，离子泵电源的输出特性、重量、体积和纹波是关键因素。离子泵电源有电阻分压式、漏磁变压器式。电阻分压式，其输出特性较差，没有反馈调节，最大输出电压随输入电压变化而变化。漏磁变压器式离子泵电...
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