技术编号:12326952
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:本发明涉及一种多路气体切换供气而总供气量恒定的真空反应系统。背景技术:目前,工业上诸多产品的生产都是在真空状态下进行的,在真空状态下进行电离、化学反应等都要求供气快捷稳定,特别是对于需要多路气体频繁切换供气,每次切换气体,都要求新的气体供给尽快稳定下来。而现有的供气系统如图1所示,在每条供气气路上设置流量器01和隔膜阀02,最后才与真空反应腔03连接,隔膜阀02由PLC控制线路04控制开关,气路的流量控制是流量器01自身的反馈控制,其工作原理是:给出设定输出流量值后,流量器01会自动检测进口和...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。