技术编号:12330240
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于特种加工技术领域,特别是涉及一种微间隙电解辅助激光微细加工方法及装置。背景技术金属材料微结构(如微孔、微槽等)是微小系统(如传感器、执行器、复杂薄壁零件)中常用的关键部件。他们对加工精度和质量具有很高的技术要求。在传感器中,这些微结构能够高灵敏地感测转角、位置等各种物理量,而且具备很强的抗冲击振动的环境适应能力;在执行器中,它们是精密执行动作的关键微结构;在复杂薄壁零件如流体驱动泵微结构散热器中,微槽是平衡散热和压降之间矛盾关系的重要方法。这些关键部件决定着零件的使用寿命和可靠性。近年...
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