技术编号:12333313
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于基板分断的切断装置,尤其涉及一种切断装置中的基板分断的检测。背景技术一般来说,平板显示面板或太阳电池面板等的制造工艺包括将玻璃基板、陶瓷基板、半导体基板等包含脆性材料的基板(母基板)进行分断的步骤。所述分断广泛使用如下方法:使用钻石尖或刀轮等刻划工具在基板表面形成划线,使裂痕(垂直裂痕)从该划线沿基板厚度方向伸展。在形成了划线的情况下,也存在垂直裂痕沿厚度方向完全伸展而将基板分断的情况,但也存在垂直裂痕沿厚度方向仅局部地伸展的情况。在后者的情况下,在形成划线后进行切断处理。切断...
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