技术编号:12347027
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种铂镍合金溅射靶材及其制备方法,属于薄膜科学领域。背景技术科学和生产发展的事实说明,电子学的发展深刻地影响着当今社会的各个领域。在电子学的发展中,起重要作用的是在理论研究的指导下,关键性新器件和新材料的制造。薄膜科学是开发新材料和新器件非常重要的领域。材料的结构向二维(薄膜)化发展是充分发挥材料潜能的重要途径。作为二维材料的功能薄膜,是在21世纪前夕为开拓高新技术而日益受到重视并发展起来的。高技术材料由体材向薄膜转移,从而使镀膜器件迅速发展起来。薄膜科学应用日益广泛,电子、磁性、光电...
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