一种室温溅射法制备二氧化钛薄膜的方法与流程技术资料下载

技术编号:12347428

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本发明属于无机纳米材料领域,具体涉及一种室温溅射法制备不同结晶度二氧化钛薄膜的方法,用于钙钛矿太阳能电池致密层。背景技术近年来,在能源危机逐渐加剧,环境污染程度逐渐变深的背景下,全球光电研究领域取得了极大的进展,成为本世纪最具前景和战略意义的研究热点之一。在此领域中,由于成本低、工艺简单以及性能优秀,钙钛矿太阳能电池成为了光电器件领域的研究热点。该电池2009年首次提出的太阳光转换效率仅为4%,经过7年的发展如今认证效率已经高达22%,超过非晶硅太阳能电池和铜铟镓硒太阳能电池当前的光电转化效率,...
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