技术编号:12347450
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种靶材的制造方法,特别是关于一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法。背景技术熟知的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法主要以粉末冶金热压(HotPressing,HP)及热均压(HotIsostaticPressing,HIP)工艺为主。然而,不论是粉末冶金热压或热均压,其粉体的烧结热源皆来自外部加热器,而外部加热器所产生的热需经由热传导或热辐射传入粉体中,才能对粉体进行烧结致密化,因此,使用外部加热器所需的烧结时间相当长,易造成高挥发性的钠化合物烧失,使得靶材的成分控制不易。此外,熟知...
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